全新薄型線性流量計可提供三種行程范圍

上海自儀公司隨著完全集成的線性流量計，型號N-565的措施65毫米W和在集成的干涉線性流量計從?，1為80毫米和旅游范圍，和2個長x 20 mm高可以解析至20時并允許增量運動低于1納米。由于為0.5μm短的信號周期，PIOne流量計的線性誤差小于1％。 PiezoWalk?技術(shù)步進流量計不受滑動摩擦的影響，實現(xiàn)幾乎無磨損運動。

PiezoWalk汽車技術(shù)強國的超精密緊湊線性定位

在一個緊湊，扁平的舞臺設(shè)計的超精確的電機有利于新的N-565的線性定位的機電一體化。

奧本，MA - PI的新的N-565體積小巧，納米精密線性階段是專為生物納米技術(shù)，光纖光學(xué)，顯微鏡，半導(dǎo)體檢測和計量，并在光束線和激光實驗室科研高端應(yīng)用。

結(jié)構(gòu)緊湊，經(jīng)濟實惠，納米精度

由于完全集成的線性壓電電動機，該低輪廓的階段有一個非常小的足跡與僅65毫米寬度和長度從80毫米。行程范圍的1/2“，1”和2“在13，26或52毫米提供。

干涉PIOne線性流量計提供了亞納米級分辨率

通過PI制訂了一個綜合干涉線性流量計可以解析至20時，允許低于一納米增量運動。由于0.5微米的短的信號周期，PIOne流量計的線性誤差小于1％。

PiezoWalk?技術(shù)：自鉗位，分辨率高，部隊和低磨損

 該PiezoWalk?技術(shù)結(jié)合壓電級分辨率，長行程范圍內(nèi)的技術(shù)優(yōu)勢：他們提供亞納米分辨率，高力和高剛度。與傳統(tǒng)的長行程壓電馬達原則，PiezoWalk?步進流量計不受滑動摩擦的影響，幾乎無磨損運動實現(xiàn)的，因為“腿”抬離每個步驟。預(yù)加載對亞軍的流量計斷電時和壓電步進驅(qū)動無持有伺服抖動和能耗機械穩(wěn)定的位置，甚至確保了自鎖模力。 PiezoWalk?電機是為半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展了十年前，并提供較高的可靠性。

交叉滾子軸承提供直和扁運動

 與交叉滾子軸承，在球軸承點接觸被硬化輥的線接觸代替。因此，它們是相當(dāng)硬的，并且需要更少的預(yù)壓，從而降低了摩擦，并允許順暢的運行。交叉滾子流量計也高的導(dǎo)向精度和承載能力區(qū)分開來。輥蠕變主動協(xié)助籠阻止。

有效專利

 PI的PiezoWalk步進驅(qū)動技術(shù)是由下列專利和專利申請的保護：US6800984B2，EP1267478B1，EP2209202B1，EP2209203B1，DE4408618B4，DE10148267B4

廣泛的軟件支持，流量計，具有低工作電壓

該PiezoWalk流量計被設(shè)計為在45V的好大電壓運行。一些控制選項：好立，OEM板，機架安裝，并與協(xié)調(diào)平行運動應(yīng)用轉(zhuǎn)型多軸流量計。上海自儀公司對于啟動和系統(tǒng)配置，PIMikroMove GUI被包含，以及LabVIEW驅(qū)動和DLL。