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氣體質量流量計和氣體質量流量控制器的區(qū)分1、 質量流量計,質量流量控制器的概念 上海自動化儀表有限公司質量流量計,即Mass Flow Meter (MFM),是一種準確測量氣體流量的儀表,其測量值不因溫度或壓力的波動而失準,不需要溫度壓力補償。 質量流量控制器,即Mass Flow Controller (MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據(jù)需要進行流量設定,MFC自動地將流量恒定在設定值上,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置,是一個可以手動設定或與計算機連接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。 簡單來說,質量流量計只測量不控制。而質量流量控制器,則帶有控制閥門,既可以測量也可以控制氣體流量大小。 2、 質量流量計,質量流量控制器的流量單位 氣體質量流量單位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM (Standard Liter per Minute) 來表示,亦即每分鐘標準毫升、每分鐘標準升。這意味著,這種儀表在不同的使用條件下,指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別,也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之處。 如果需要單位時間內流過的質量(如g/min),可以查閱標準狀態(tài)下的氣體密度,然后作乘法就可以了。 3、質量流量計/質量流量控制器的主要的優(yōu)點 (1) 直接測量氣體的質量流量 熱式質量流量計直接測量流體質量流量,輸出質量流量信號,無需其他設備,如溫度測試儀和壓力表,也無需進行換算。 (2) 無可移動部分 本身無類似轉軸等的移動部件,增加了本身的可靠性,無需機械維護。 (3) 可以準確的測量微小流量,采用分流裝置,又可以測量大流量,而且溫度,壓力范圍很大。 (4) 測量控制的自動化 質量流量計/質量流量控制器可以將流量測量值以輸出標準電信號輸出。這樣很容易實現(xiàn)對流量的數(shù)字顯示,流量自動計量,數(shù)據(jù)自動記錄,計算機管理等。對質量流量控制器而言,還可以實現(xiàn)流量的自動控制。通常,?模擬的MFC/MFM輸入輸出信號為0~+5V或4~20mA,?數(shù)字式MFC/MFM還配有RS232或RS485數(shù)字串行通訊口,?能非常方便地與計算機連接,?進行自動控制。 (5) 準確地定量控制流量 上海自動化儀表有限公司質量流量控制器可以準確地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制,是用于對于不同氣體的比例控制等。 (6) 準確度高,重復性好 準確度可達+-1%F.S(full scale)重復性為+-0.25%F.S(full scale) (7) 體積小巧,安裝方便,操作簡單 (8) 技術先進,符合發(fā)展潮流 |